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HJT异质结高效电池制造全体办理计划
该异质结高效电池制造全体办理计划由迈为自立研制、完成整线设备国产化,其完备笼盖了异质结电池出产的四道工艺,经过大片化、薄片化、半片化制程,分离创新 i-in-p PECVD 工艺道路,集成整线 MES 智能系统,进一步晋升了太阳能电池的转换服从、 良率、产能,同时低落了出产本钱。
工序流程
  • 01
    荡涤制绒
  • 02
    硅基薄膜堆积(PECVD)
  • 03
    通明导电薄膜堆积(PVD)
  • 04
    丝网印刷
计划劣势
  • 荡涤制绒设备
    兼备两种预荡涤工艺:Precln#1(O₃) → SDE → Precln#2(H₂O₂)
  • PECVD设备
    全主动完成双面镀膜、持续镀膜,RPS自荡涤,产喜玩兔 ,无需行车
  • PVD设备
    持续完成正反面TCO镀膜,产喜玩兔 、 8个工艺单位(PU)晋升了TCO镀膜工艺机动度,无需行车,镀膜操纵率高达80%
  • 丝网印刷设备
    平铺式固化,集成光注入
  • 主动化
    硅片打仗起码,环境把持,集成在线检测
  • 强盛的MES中控系统
    可举行数据收罗、产线监测、产线管控、统计阐发,完成量产片级跟踪,追溯每片电池的出产进程
工序一:荡涤制绒
+
荡涤制绒设备 HJ-TEX-182/210
用酸碱药液将硅片名义刻蚀成金字塔纹理结构,再举行荡涤、烘干。
设备参数
设备劣势
  • 兼容大尺寸硅片、薄片、半片,产能大且充沛客制化
  • 工艺可控度高(定排定补)
  • 机台内环境把持严酷
    (酸碱隔离、FFU、除静电等)
  • 数据收罗完备
    (lot log、ID追踪、记实曲线等)
工艺流程
补充阐明
可供给配套返工荡涤机、链式前荡涤机
工序二:硅基薄膜堆积(PECVD)
+
PECVD镀膜设备 Maxwell MV-LH06
一套在线持续PECVD镀膜设备,在硅片正反面堆积本征和搀杂非晶硅膜/微晶硅膜
设备参数
设备劣势
  • Inline多腔体准静态PECVD镀膜技术
  • 分层高品德非晶硅钝化镀膜技术
  • PECVD多层布气Showerhead放电阴极结构设计
  • 大尺寸、轻载荷、低热膨胀系数、高平面度的复合载板设计
  • Inline耐腐化磁流体真空传递大尺寸载板
  • RF疾速启辉设置及辉光及时监控
工艺流程
工序三:通明导电薄膜堆积(PVD)
+
PVD镀膜设备 Maxwell P6
一套卧式在线磁控溅射持续镀膜设备,可同时举行双面镀膜。
设备参数
设备劣势
  • 大产能(G12,14400半片/小时,单台设备年产能约600MW)
  • HJT高效电池PVD镀膜公用大尺寸、轻载荷、低热膨胀系数、高平面度的复合结构设计载板
  • HJT高效电池大产能低碎片率的PVD腔体结构设计
  • 强磁高温高溅射率的PVD阴极结构设计
  • 疾速平均的加热单位设计
  • 低薄膜不平均性的PVD阴极腔体设计
  • 在线PVD高速快节奏的高品德TCO薄膜镀膜技术
工艺流程
工序四:丝网印刷
+
异质结高效电池丝网印刷设备 MW-XDL-DP(HJT)
对异质结高效太阳能电池片举行丝网印刷测试,固化光衰。
设备参数
设备劣势
  • 兼容MES、UPS和RFID功效
  • 高精度、大产量半片机台
  • 整线设置无人主动化
  • 整线迈为便宜,包含检测设备
工艺流程
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